真空镀膜设备检漏是保障真空镀膜设备真空度的一项检查措施，简称检漏，真空度的高低是直接影响到镀膜效果的，所以检漏是必不可少的。

一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生，当抽气系统抽气后使真空室内压强下降，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，造成真空度下降。

真空镀膜设备在检漏的过程中，需要注意以下问题，才能把检漏工作做好。

一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体，有可能误以为是从外部流进的气体，这即是虚漏，要排除这种情况。

二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。

三、检查漏孔的大小，形状、位置，漏气的速度，制备出可解决方案并实施。

四、确定检测仪器的很小可检漏率和检漏灵敏性，以很大范围的检测出漏气情况，避免一些漏孔被忽略，提高检漏的准确性。

五、把握检漏仪器的反应时间和消除时间。把时间掌握好，保障检漏仪器工作到位，时间少了，检漏效果肯定差，时间长了，浪费检漏气体和人工电费。

六、还要避免漏孔堵塞。有时由于操作失误，检漏过程中，一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了，以为在该位置没有漏孔，但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了，那漏气还是存在的。