真空检漏方法种类繁多，整体步骤上却都大同小异。本文将介绍真空离子镀膜设备如何检漏。除特殊情况外，一般真空设备检漏步骤如下：1、了解被检设备零部件和整个设备的结构与材料设备、设备加工水平和工艺及其整机装配的过程、需要检漏的地方、用户使用要求、分布漏量和总漏量的标准是多少、是否有死空间、有无易漏材料、是否使用了容易出现漏孔的制造工艺等。2、根据所了解到的较大允许漏率标准以及是否需要找出漏孔的具体位置的不同需求，结合经济、快速、可靠等原则，对检漏装置、方法以及必要的辅助设备进行选择，并拟定一套真空检漏程序。3、对被检真空设备零部件做清洁处理。去焊渣和油垢，然后进行清洁处理。清洗后要将被检真空设备零部件烘干，对于有着较高要求的小型零部件，要在进行清洗过后，再进行烘烤处理。4、对真空镀膜设备采用的检漏方法和检漏设备做检漏灵敏度的校准，并将检漏装置的反应时间进行确定。5、在真空检漏法的情况下，为使检漏装置的检漏灵敏度提高，需尽量将被检设备零部件抽至较高真空度，而且，在有必要时，可进行烘烤除气处理。6、由于氦质谱检漏法所采用的设备、氦气价位都较高，因此，尽可能采用较为经济的其它检漏方法或装置。7、在离子镀膜机采用氦质谱检漏仪检漏的情况下，对设备中的一些检漏灵敏度要求不高的或有大漏孔的待检零部件，可在检漏初期用低浓度的氦气进行初步检漏，以节省氦气的使用。8、补修已检出的大漏洞之后，再检查设备小漏孔。9、凡是真空离子镀膜设备检出的漏孔，都要经过复检。