1、背压法——测总漏率

电子元器件进行气密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，zui终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。

2、辅助真空系统

对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。较简单的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系zui好用气镇式机械泵。

3、吸枪法

被检件充入高于大气压的探索气氦，检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体采集器。当试件有漏时，泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪，而被检测。吸枪在试件表面移动，同时注视检漏仪漏率指示的变化，一旦泄漏增加，吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。

4、钟罩法——测总漏率

将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，zui终达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。