对于用于检漏的仪器来讲的话，其实就是测漏设备。也就是有氦质谱检漏仪，再者的话就是卤素检漏仪以及高频火花检漏器，还有就是气敏半导体检漏仪和用于质谱分析的各种质谱计等其实都是属于测漏设备，这里的话，我们主要的就是介绍氦质谱检漏仪和卤素检漏仪的这两个测漏设备的工作原理。

对于氦质谱测漏设备来讲，它其实就是用氦气直接的就是为示漏气体的一个专门用于检漏的仪器，就它的优点来讲的话，就它的性能来讲的话也是比较的稳定的，就它的灵敏度来讲其实也是比较的高的。可以说，就其这种检测的方法的话，它的灵敏度来讲也是比较的高的，但是因为氦气成本比较高，对于一些小型的厂家来讲的话也是没有办法进行承担的。

对于卤素测漏设备来讲，它其实就是用含有卤素，也就是氟、氯、溴、碘等的气体直接的就是为我们的示漏气体的检漏仪器。对于此类的检测设备来讲的话，它其实是可以分为两类的，一种的话就是传感器，也就是探头和其被检件相连接的，也被成为固定式，当然也是会被叫做内探头式。

对于第二类的卤素测漏设备来讲，其实也就是传感器，其实也就是吸枪。它在被检件外部来讲，就它的搜索来讲，其实也是可以称为便携式，也就是外探头式卤素检漏仪。

和氦质谱测漏设备相比，我们的卤素测漏设备也是比较的实用的，就其本身的使用成本来讲也是很低廉的。但是，对于不同的测漏设备来讲是没有的好和坏的，就其的使用的话，也是会根据不同的使用的用处来进行使用的，不可以随便的就选择使用。